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濰坊浩海熱處理設備有限公司
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退火爐價格
退火爐價格
退火爐價格是在(zai)半導體器(qi)件制(zhi)造中(zhong)使用的(de)(de)一(yi)種工(gong)藝，其包括加熱(re)多(duo)個(ge)半導體晶片(pian)以(yi)影響其電性能。熱(re)處理是針對不同的(de)(de)效果而設計的(de)(de)。可以(yi)加熱(re)晶片(pian)以(yi)激活摻(chan)雜劑(ji)，將薄膜(mo)(mo)轉換(huan)成(cheng)薄膜(mo)(mo)或將薄膜(mo)(mo)轉換(huan)成(cheng)晶片(pian)襯底(di)界面，使致密沉積(ji)的(de)(de)薄膜(mo)(mo)，改(gai)變(bian)生長的(de)(de)薄膜(mo)(mo)的(de)(de)狀態，修(xiu)復注入的(de)(de)損傷，移(yi)動摻(chan)雜劑(ji)或將摻(chan)雜劑(ji)從(cong)一(yi)個(ge)薄膜(mo)(mo)轉移(yi)到另一(yi)個(ge)薄膜(mo)(mo)或從(cong)薄膜(mo)(mo)進入晶圓(yuan)襯底(di)。
退火(huo)爐(lu)可以(yi)集成到其(qi)他(ta)爐(lu)子處(chu)理(li)步驟中，例如氧化，或者可以(yi)自(zi)己處(chu)理(li)。退火(huo)爐(lu)是由專門為(wei)加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火(huo)爐(lu)是節能(neng)型周期式作業爐(lu)，超節能(neng)結構，采用纖維(wei)結構，節電60%。
